Multi-device containers useful with semiconductor processing devices of different dimensions, and related methods

WO2025235539 Art A1 13. November 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025235539
Aktenzeichen
EP25810470
Anmeldetag
6. Mai 2025
Veröffentlichung
13. November 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/66H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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