Substrate processing device, and method

WO2025236942 Art A1 20. November 2025

Anmelder: ACM RESEARCH KOREA CO., LTD., ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC., CLEANCHIP TECHNOLOGIES LIMITED 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025236942
Aktenzeichen: EP25802553
Anmeldetag: 10. April 2025
Veröffentlichung: 20. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ACM RESEARCH KOREA CO., LTD.
ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC.
CLEANCHIP TECHNOLOGIES LIMITED
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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