Processes And Systems For Droplet Detection in an Euv Light Source

WO2025237695 Art A1 20. November 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., Q.ANT GMBH 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025237695
Aktenzeichen: EP25723667
Anmeldetag: 1. Mai 2025
Veröffentlichung: 20. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
Q.ANT GMBH
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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