Sub-atmospheric pressure sensor and method

WO2025238341 Art A1 20. November 2025

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025238341
Aktenzeichen
EP25727745
Anmeldetag
12. Mai 2025
Veröffentlichung
20. November 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01L9/00G01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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