System and method for enhancing photoluminescence

WO2025240176 Art A1 20. November 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025240176
Aktenzeichen
EP25804112
Anmeldetag
7. Mai 2025
Veröffentlichung
20. November 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88G01N21/95G01N21/956G01N21/64H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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