Electron beam metrology having a source energy spread with filtered tails
WO2025240279
Art A1
20. November 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025240279
- Aktenzeichen
- EP25804153
- Anmeldetag
- 12. Mai 2025
- Veröffentlichung
- 20. November 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/06H01J37/10H01J37/305H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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