Semiconductor sample with reduced preparation time

WO2025242376 Art A1 27. November 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025242376
Aktenzeichen: EP25721783
Anmeldetag: 17. April 2025
Veröffentlichung: 27. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/28H01L23/544G01N1/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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