Calibration substrate, method to determine an offset correction for a substrate to be loaded on a substrate support, combination of a substrate support and a calibration substrate, and substrate handling apparatus

WO2025242387 Art A1 27. November 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025242387
Aktenzeichen: EP25720766
Anmeldetag: 24. April 2025
Veröffentlichung: 27. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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