Verfahren zum Betreiben eines Festkörperaktuators in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, Adaptives Optisches Element und Projektionsbelichtungsanlage
WO2025242510
Art A1
27. November 2025
Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025242510
- Aktenzeichen
- EP25725814
- Anmeldetag
- 14. Mai 2025
- Veröffentlichung
- 27. November 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H02N2/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CARL ZEISS SMT GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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