Measuring Very Low Pressures

WO2025243020 Art A1 27. November 2025

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025243020
Aktenzeichen
EP25728475
Anmeldetag
20. Mai 2025
Veröffentlichung
27. November 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01L11/02G01L21/30G06N10/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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