Heating system, vacuum chamber, and method of processing a substrate in a vacuum chamber

WO2025243104 Art A1 27. November 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025243104
Aktenzeichen: EP25807278
Anmeldetag: 3. April 2025
Veröffentlichung: 27. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/50C23C14/56C23C16/48C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.794 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von