Gas supply device, gas supply system, and gas supply method

WO2025243782 Art A1 27. November 2025

Anmelder: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025243782
Aktenzeichen: EP25807516
Anmeldetag: 24. April 2025
Veröffentlichung: 27. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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