Chemical mechanical polishing method using foamed slurry and apparatus for foamed slurry generation

WO2025244873 Art A1 27. November 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025244873
Aktenzeichen: EP25808395
Anmeldetag: 12. Mai 2025
Veröffentlichung: 27. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B24B57/02B24B37/10B24B37/20B24B37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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