Physics Augmented Regression Algorithm For Critical Dimensions in Large Pitch Targets

WO2025245546 Art A1 27. November 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025245546
Aktenzeichen: EP25808672
Anmeldetag: 16. Juni 2025
Veröffentlichung: 27. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02G01B11/24G06F17/18G06F30/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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