Method for calibrating an optical measurement system and system adapted to implement the method

WO2025247607 Art A1 4. Dezember 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., CARL ZEISS SMT GMBH 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025247607
Aktenzeichen: EP25723863
Anmeldetag: 8. Mai 2025
Veröffentlichung: 4. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02055G01B21/04G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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