Computer program, method for generating trained model, information processing method, and information processing device

WO2025249225 Art A1 4. Dezember 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION HOKKAIDO UNIVERSIT 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025249225
Aktenzeichen
EP25815646
Anmeldetag
19. Mai 2025
Veröffentlichung
4. Dezember 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02G06F16/906
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION HOKKAIDO UNIVERSIT
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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