Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, resist film, pattern-forming method, and electronic device manufacturing method

WO2025249390 Art A1 4. Dezember 2025

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025249390
Aktenzeichen
EP25815806
Anmeldetag
26. Mai 2025
Veröffentlichung
4. Dezember 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004G03F7/20G03F7/038G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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