Nozzle monitoring system, deposition apparatus and method of detecting clogging of one or more nozzles

WO2025250157 Art A1 4. Dezember 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025250157
Aktenzeichen: EP24942050
Anmeldetag: 12. Juli 2024
Veröffentlichung: 4. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H10K71/70H04W4/80G06N20/00C23C14/24C23C14/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.794 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung

Vertreten von