Process Navigator For Doe Results Checking in Virtual Fabrication Platform

WO2025250914 Art A1 4. Dezember 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025250914
Aktenzeichen: EP25816840
Anmeldetag: 30. Mai 2025
Veröffentlichung: 4. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/418G06F3/04815

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von