Method for installing an euv collector into an euv projection exposure apparatus or an assembly therefor, and euv collector for carrying out the method

WO2025252822 Art A1 11. Dezember 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025252822
Aktenzeichen: EP25741001
Anmeldetag: 5. Juni 2025
Veröffentlichung: 11. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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