Radiation-sensitive composition, pattern formation method, and onium salt compound

WO2025253859 Art A1 11. Dezember 2025

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025253859
Aktenzeichen: EP25819620
Anmeldetag: 13. Mai 2025
Veröffentlichung: 11. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004C07C307/02C07C309/02C07C309/12C07C309/17C07C309/19C07C309/39C07C381/12C07D307/00C07D307/33C07D317/70C07D317/72C07D321/10C07D327/04C07D327/06C07D333/46C07D333/76G03F7/20G03F7/038G03F7/039

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Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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