Silica-based slurry for selective polishing of silicon nitride and silicon carbide

WO2025254960 Art A1 11. Dezember 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025254960
Aktenzeichen: EP25820109
Anmeldetag: 30. Mai 2025
Veröffentlichung: 11. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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