Silica-based slurry for selective polishing of silicon carbide

WO2025255284 Art A1 11. Dezember 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025255284
Aktenzeichen: EP25820564
Anmeldetag: 4. Juni 2025
Veröffentlichung: 11. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/306B24B37/04B24B57/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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