Systems and methods of increasing laser optical output

WO2025256809 Art A1 18. Dezember 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025256809
Aktenzeichen: EP25722594
Anmeldetag: 28. April 2025
Veröffentlichung: 18. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/223H01S3/23H01S3/10H01S3/041H01S3/104

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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