Gas pressure measuring device for measuring a pressure of a process gas at a working site of an apparatus for particle beam-induced processing

WO2025256975 Art A1 18. Dezember 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025256975
Aktenzeichen: EP25732000
Anmeldetag: 4. Juni 2025
Veröffentlichung: 18. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01L9/00G01F1/34G01F1/38G01F1/50G01L27/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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