Messvorrichtung, Lithographieanlage und Verfahren zum Kalibrieren einer Messvorrichtung

WO2025256988 Art A1 18. Dezember 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025256988
Aktenzeichen: EP25731245
Anmeldetag: 4. Juni 2025
Veröffentlichung: 18. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01R27/14G01R35/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von