Bauteil mit einer in einem Bauteilmaterial Ausgebildeten Hohlstruktur zum Führen von Fluiden

WO2025257271 Art A1 18. Dezember 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025257271
Aktenzeichen: EP25733006
Anmeldetag: 11. Juni 2025
Veröffentlichung: 18. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: F15D1/06B23K26/082G03F7/20C03C1/00C03C23/00G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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