Rotation speed calculation device, rotation speed calculation method, substrate cleaning device, and substrate processing device
WO2025258600
Art A1
18. Dezember 2025
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025258600
- Aktenzeichen
- EP25821946
- Anmeldetag
- 10. Juni 2025
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B49/10B24B37/34B24B41/06B24B55/06H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Vertreten von
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