System and method for chamber matching using phase-based scoring

WO2025259566 Art A1 18. Dezember 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025259566
Aktenzeichen: EP25822231
Anmeldetag: 6. Juni 2025
Veröffentlichung: 18. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G06F30/20G05B17/02G06F119/18G06F111/06G06F111/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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