Euv radiation generating method

WO2025261688 Art A1 26. Dezember 2025

Anmelder: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I, STICHTING VU, RIJKSUNIVERSITEIT GRONINGEN, UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM, ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025261688
Aktenzeichen: EP25728053
Anmeldetag: 19. Mai 2025
Veröffentlichung: 26. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I
STICHTING VU
RIJKSUNIVERSITEIT GRONINGEN
UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Rijksuniversiteit Groningen

Die Rijksuniversiteit Groningen ist eine niederländische Universität mit breiter medizinischer und naturwissenschaftlicher Forschung. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, organische Chemie sowie Pharma- und Biotechnologie ab.

316 Patente in unserer Datenbank

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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