Temperiervorrichtung zum Temperieren einer Positionssensitiven Komponente einer Lithographieanlage, Lithographieanlage und Verfahren zum Herstellen einer Temperiervorrichtung

WO2025261893 Art A1 26. Dezember 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025261893
Aktenzeichen: EP25739721
Anmeldetag: 12. Juni 2025
Veröffentlichung: 26. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/18G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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