Optical amplifier for a drive laser for use in a lithography system, lithography system and method for installing an optical amplifier

WO2025261906 Art A1 26. Dezember 2025

Anmelder: TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURIN, ASML NETHERLANDS B.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025261906
Aktenzeichen: EP25733407
Anmeldetag: 13. Juni 2025
Veröffentlichung: 26. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/02H01S3/036H01S3/07H01S3/23H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURIN
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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