Radiation-sensitive composition, resist pattern formation method, polymer, and compound

WO2025263198 Art A1 26. Dezember 2025

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025263198
Aktenzeichen: EP25830322
Anmeldetag: 19. Mai 2025
Veröffentlichung: 26. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039C08F220/22C08F220/36G03F7/004G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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