Polishing apparatus and polishing method

WO2025263436 Art A1 26. Dezember 2025

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025263436
Aktenzeichen: EP25830557
Anmeldetag: 12. Juni 2025
Veröffentlichung: 26. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/013B24B37/005B24B37/10B24B49/04B24B49/12H10P52/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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