Liquid sensors for substrate processing systems

WO2025264429 Art A1 26. Dezember 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025264429
Aktenzeichen: EP25831330
Anmeldetag: 10. Juni 2025
Veröffentlichung: 26. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01M3/16G01M3/18G01M3/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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