Systems and methods for recovering rf energy using modular resonant circuits

WO2025264706 Art A1 26. Dezember 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025264706
Aktenzeichen: EP25830731
Anmeldetag: 17. Juni 2025
Veröffentlichung: 26. Dezember 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H02M3/335

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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