Molybdenum Deposition

WO2025264711 Art A1 26. Dezember 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025264711
Aktenzeichen
EP25830734
Anmeldetag
17. Juni 2025
Veröffentlichung
26. Dezember 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/04C23C16/14C23C16/455C23C16/56C23C16/50
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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