Sealing structure and sealing method for high-temperature furnace tube

WO2026001516 Art A1 2. Januar 2026

Anmelder: CLEANCHIP TECHNOLOGIES LIMITED, ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC., ACM RESEARCH (LINGANG), INC., ACM RESEARCH KOREA CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026001516
Aktenzeichen
EP25824918
Anmeldetag
28. Mai 2025
Veröffentlichung
2. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
F27D7/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
CLEANCHIP TECHNOLOGIES LIMITED
ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC.
ACM RESEARCH (LINGANG), INC.
ACM RESEARCH KOREA CO., LTD.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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