Verfahren zur Herstellung von Mems-Bauelementen, insbesondere Mems-Mikrospiegelelementen aus einem Substratwafer

WO2026002522 Art A1 2. Januar 2026

Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026002522
Aktenzeichen: EP25730239
Anmeldetag: 30. Mai 2025
Veröffentlichung: 2. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00B81C3/00G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ROBERT BOSCH GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Robert Bosch

Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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