Electrostatic Lens

WO2026003084 Art A1 2. Januar 2026

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026003084
Aktenzeichen
EP25735607
Anmeldetag
25. Juni 2025
Veröffentlichung
2. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/12H01J37/28H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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