Apparatuses and processes for light source system status tracking and maintenance utilizing data to text machine translation
WO2026003632
Art A1
2. Januar 2026
Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2026003632
- Aktenzeichen
- EP25733734
- Anmeldetag
- 6. Juni 2025
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2026
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06Q10/20G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CYMER, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cymer
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
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