Measuring device and calibration method

WO2026004047 Art A1 2. Januar 2026

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026004047
Aktenzeichen
EP24944712
Anmeldetag
27. Juni 2024
Veröffentlichung
2. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
G01C3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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