Dry etching method, method for manufacturing semiconductor device, and etching device

WO2026004574 Art A1 2. Januar 2026

Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026004574
Aktenzeichen
EP25825431
Anmeldetag
10. Juni 2025
Veröffentlichung
2. Januar 2026
Rechtsraum
WO
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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