Heat medium control device and control method for heat medium

WO2026004602 Art A1 2. Januar 2026

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026004602
Aktenzeichen: EP25825458
Anmeldetag: 11. Juni 2025
Veröffentlichung: 2. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G05D23/00H10P10/00H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von