Defect reduction strategies using mechanical learnings from mechanical simulation

WO2026006407 Art A1 2. Januar 2026

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026006407
Aktenzeichen: EP25826683
Anmeldetag: 25. Juni 2025
Veröffentlichung: 2. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/004G03F7/40G03F1/36G03F1/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von