Fiducial structure for inspection of semiconductor workpieces

WO2026006659 Art A2 2. Januar 2026

Anmelder: WOLFSPEED, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026006659
Aktenzeichen: EP25753345
Anmeldetag: 27. Juni 2025
Veröffentlichung: 2. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/64G01N21/88G01N21/95H10P72/00H10P74/00H10W46/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: WOLFSPEED, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wolfspeed

Wolfspeed ist ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleitern auf Basis von Siliziumkarbid für Leistungselektronik und HF-Anwendungen. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente sowie Elektronik- und Fertigungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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