Electrostatic chuck device, method for manufacturing electrostatic chuck device, and method for manufacturing stack
WO2026009678
Art A1
8. Januar 2026
Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2026009678
- Aktenzeichen
- EP25832759
- Anmeldetag
- 13. Juni 2025
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2026
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H10P72/70B32B15/04C04B37/00H02N13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Osaka Cement
Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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