Selective Deposition On an Existing Patterned Mask

WO2026010662 Art A1 8. Januar 2026

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026010662
Aktenzeichen: EP25833129
Anmeldetag: 2. April 2025
Veröffentlichung: 8. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: H10P76/20H10P50/28H10P50/68H10B12/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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