Method and apparatus for short wavelength metrology

WO2026012675 Art A1 15. Januar 2026

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026012675
Aktenzeichen: EP25733414
Anmeldetag: 13. Juni 2025
Veröffentlichung: 15. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02F1/35H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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