Verfahren und Anlage zum Abscheiden eines Materials auf einem Substrat über Magnetronzerstäubung
WO2026012718
Art A1
15. Januar 2026
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2026012718
- Aktenzeichen
- EP25735852
- Anmeldetag
- 23. Juni 2025
- Veröffentlichung
- 15. Januar 2026
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/16C23C14/18C23C14/34C23C14/35C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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